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集束型薄膜沉積系統(tǒng)

集束型薄膜沉積系統(tǒng)

    集束型薄膜沉積系統(tǒng)是專為集成電路先進制造工藝開發(fā)的薄膜沉積系統(tǒng)，標配8英寸樣品托，可兼容12英寸?？纱钶dALD、PECVD、PVD等工藝系統(tǒng)，控制面板可分立或集成，系統(tǒng)可穿墻安裝。
    獲取詳細的系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格，請與我公司銷售部門聯(lián)系。

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